德國進口卡爾蔡司金相半導體顯微鏡Axio Imager Vario，可檢測大尺寸樣品，擁有自動聚焦系統(tǒng)且滿足超凈室等級要求，可分析從極限小的MEMS傳感器到超大XXL晶圓，甚至整塊平板顯示器，其間不會對樣品造成破壞。

zeiss金相顯微鏡Axio Imager Vario借助極限大 300 mm 的橫向移動距離和極限高 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩(wěn)定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – 蔡司顯微鏡Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動 Z 軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至更佳聚焦位置。

卡爾蔡司顯微鏡Axio Imager Vario產品特點

技術特點

兩種手動和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡極限大300mm橫向與縱向移動距離和極限高254mm垂直深度的優(yōu)勢。Axio Imager Vario 能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高精準聚焦精度和可重復性。借助自動聚焦硬件，您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。Axio Imager Vario 與 LSM 700組合應用，以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。Axio Imager Vario已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。

超凈室內標準

半導體制造與晶圓檢測需要在超凈室內完成。根據 DIN EN ISO 14644-1標準，以每立方米的顆粒數量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應用中，德國進口卡爾蔡司金相半導體顯微鏡Axio Imager Vario已通過此標準認證，并滿足超凈室等級5的要求。超凈室ISO5等級相當于原FED STD 209E（1992）標準的100級。超凈室套件中包含一個7孔物鏡轉盤、一個顆粒保護罩及一個防噴嚏保護罩。

自動聚焦硬件

集成有 Auto Focus 自動聚焦硬件系統(tǒng)的德國進口顯微鏡Axio Imager Vario 能夠在高達12000 μm的焦點捕獲范圍內實現快速精準的聚焦。在工業(yè)生產和研究的檢測應用中，您需要一套聚焦精度能達到物鏡景深0.3倍的高精度聚焦系統(tǒng)。該自動聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應用。