主動隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動減震系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界的主動隔振性能（從0.5Hz開始）。平臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調(diào)的模塊化設計，無需為大多數(shù)儀器（包括大多數(shù)SEM）安裝所需的升降設備，從而簡化了安裝過程。有利于為基礎研究、應用研究、生產(chǎn)等領域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。
工作原理：
通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
主動隔振臺采用隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
性能優(yōu)勢：
1、系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除；
2、六個空間方向的自由隔振；
3、系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機械共振；
4、低頻隔振性能；
5、無低頻共振、無空氣要求。
