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從工作原理去了解主動隔振臺

時間:2022/8/19閱讀:4824
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   主動隔振臺是由電氣進行控制,通過反向力進行消除振動,通過傳感器進行檢測振動的頻率,持續(xù)產生振動的隔離狀態(tài),有效進行消音作用。而被動隔振臺是由機械的裝置進行控制,利用彈簧的彈性體進行有效減少振動,這一系列的流程是由氣動系統(tǒng)實現的。
  
  工作原理:
  安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響,有效的解決方案則是使用隔振臺(減振臺),以便營造適合該設備的條件。使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產生作用力,并繼續(xù)產生的振動隔離狀態(tài)。它擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
  內部結構有彈簧零件,主要目的是利用可變形的作用進行吸收能量,從而減少設備上的振動,雖然效果很好,但共振放大之后就會有些嚴重;除此之外,還有橡膠材質,跟彈簧的一樣,主要是通過變形吸收熱量,不同的是,橡膠能吸收各個方向的;就是一個氣動平臺的系統(tǒng),通過壓縮空氣活塞來減少地面的振動。
  
  主動隔振臺采用的隔振技術,適用于任何研究情況下,可以隔離6個自由度方向上的振動,包括水平和垂直方向。平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動,通過將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振。可為實驗室中對震動敏感的設備如電鏡,光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動,提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
  
  應用范圍:
  超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)
  光刻工具
  高精度計量工具
  光譜儀器

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