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從工作原理去了解主動隔振臺

時(shí)間:2022/8/19閱讀:4828
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   主動隔振臺是由電氣進(jìn)行控制,通過反向力進(jìn)行消除振動,通過傳感器進(jìn)行檢測振動的頻率,持續(xù)產(chǎn)生振動的隔離狀態(tài),有效進(jìn)行消音作用。而被動隔振臺是由機(jī)械的裝置進(jìn)行控制,利用彈簧的彈性體進(jìn)行有效減少振動,這一系列的流程是由氣動系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的。
  
  工作原理:
  安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響,有效的解決方案則是使用隔振臺(減振臺),以便營造適合該設(shè)備的條件。使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。它擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
  內(nèi)部結(jié)構(gòu)有彈簧零件,主要目的是利用可變形的作用進(jìn)行吸收能量,從而減少設(shè)備上的振動,雖然效果很好,但共振放大之后就會有些嚴(yán)重;除此之外,還有橡膠材質(zhì),跟彈簧的一樣,主要是通過變形吸收熱量,不同的是,橡膠能吸收各個(gè)方向的;就是一個(gè)氣動平臺的系統(tǒng),通過壓縮空氣活塞來減少地面的振動。
  
  主動隔振臺采用的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動,包括水平和垂直方向。平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動,通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振??蔀閷?shí)驗(yàn)室中對震動敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動,提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
  
  應(yīng)用范圍:
  超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)
  光刻工具
  高精度計(jì)量工具
  光譜儀器

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