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主動隔振臺為精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境

時間:2022/10/22閱讀:1974
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   主動隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng),有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。擁有落地式的支撐結構和氣浮式被動隔振部分適用于大中型設備。多種尺寸與功能模塊可選??稍趯掝l率范圍內進行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉儀、微型檢測設備等提供的隔振性能。
  
  從名字中不難看出,主動隔振臺是建立在主動隔振技術的基上的。與被動隔振相比,主動隔振技術能靈活控制隔振量,在調整隔振量的基礎隔振,使儀器能承受更大的外部沖擊。另外,主動隔振技術可與多個設備造配,因此適用范圍極廣。目前市面上大部分隔振產品使用的技術都是主動隔振。
  設備用途:為各類光學顯微鏡主動隔振臺-電子天平隔振臺-輪廓儀隔振臺-半導體設備主動隔震臺-激光設備隔震臺-微納加工精密儀器隔震系統(tǒng)。
  
  主要功能:
  隔振:被動模塊減緩震動,傳感器偵測到振動信號后會通過機械閥快速輸出相反方向的力抵消振動。
  隔音防磁:通過多層壁壘構造來保護敏感器件不受寬頻段空氣噪音影響。
  
  技術特點:
  1、優(yōu)勢:與防噪音艙整合的主動隔振系統(tǒng)。
  2、LED監(jiān)控系統(tǒng):在隔離系統(tǒng)上輕松觀察操作和振動環(huán)境。
  3、強大電抗噪能力:通過多層壁壘構造來保護敏感器件不受寬頻段空氣噪音影響。
  4、前饋和反饋控制:通過三軸振動傳感器。沿平臺安裝傳感器,低頻范圍隔振效率上有突破性改進。

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