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作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術(shù)的行業(yè)*，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性，高循環(huán)壽命，以及低的粒子生成，從真空應(yīng)用到3500 psig壓力范圍可用。它適用于超高壓半導(dǎo)體應(yīng)用，包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)（VMBS）。
產(chǎn)品分類品牌分類
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ABB截止閥 ABB發(fā)電機(jī) ABB單元 ABB模塊 ABB流量 ABB轉(zhuǎn)換器 ABB過(guò)程控制 ABB液位計(jì) ABB管 ABB流動(dòng)噴嘴 ABB溫度 ABB連接器 ABB插頭 ABB濾波器 ABB色譜儀 ABB流量計(jì) ABB壓力控制閥 ABB減速機(jī) ABB充電樁 ABB導(dǎo)管 ABB張力計(jì) ABB軸承 ABB變電站 ABB電抗器 ABB熔斷器 ABB執(zhí)行器 ABB開(kāi)關(guān) ABB真空接觸器 ABB傳感器 ABB增壓器 ABB定位器 ABB控制器 ABB變流器 ABB電容器 ABB推進(jìn)系統(tǒng) ABB測(cè)厚儀 ABB變送器 ABB繼電器 ABB避雷器 ABB變頻器 ABB變壓器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
PARKER派克隔膜閥產(chǎn)品描述：
作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術(shù)的行業(yè)*，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性，高循環(huán)壽命，以及低的粒子生成，從真空應(yīng)用到3500 psig壓力范圍可用。它適用于超高壓半導(dǎo)體應(yīng)用，包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)（VMBS）。
派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥可以選擇手動(dòng)或氣動(dòng)操作。這兩個(gè)選項(xiàng)都是內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì)，這使顆粒產(chǎn)生和捕獲更小化，從而減少了過(guò)程污染。閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)控制閥座和膜片的應(yīng)力，提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。該閥還具有壓縮構(gòu)件，其均勻地加載密封件，而不需要螺紋部件或壓接操作。
945系列不銹鋼隔膜閥沾濕組件由特殊金屬制造，以提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥門本體是由Veriflo的的內(nèi)部電解拋光316L不銹鋼材質(zhì)生產(chǎn)而成。膜片是一種高強(qiáng)度鈷基合金。閥座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 這些選項(xiàng)中選擇，這允許945系列用于廣泛的危險(xiǎn)和惰性工藝流體。這些材料，結(jié)合閥門嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，在工作壓力高達(dá)3500 psig時(shí)，具有很高的耐腐蝕性和優(yōu)良的穩(wěn)定性。氣動(dòng)選項(xiàng)可以配置為提供具有限位開(kāi)關(guān)的開(kāi)閉位置指示。
945個(gè)系列不銹鋼隔膜閥門都是在100級(jí)潔凈室制造的。內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封是使用質(zhì)譜儀氦氣泄漏測(cè)試，以實(shí)現(xiàn)在要求UHP超高純應(yīng)用環(huán)境的使用性能和穩(wěn)定性。
PARKER派克隔膜閥特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì)：
• 在管材上加工，這允許改進(jìn)尺寸控制。
• 5微米（Ra）電拋光表面光潔度
• 高循環(huán)壽命（包括腐蝕性應(yīng)用工況）
• 內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì)使顆粒產(chǎn)生和氣體捕獲更小
• 全功能化設(shè)計(jì)從真空到300psig可用
• 內(nèi)部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常開(kāi)常關(guān)氣動(dòng)AOP執(zhí)行壓力（大值）
PARKER派克隔膜閥典型應(yīng)用：
• 腐蝕性和特殊性氣體
• 半導(dǎo)體設(shè)備
• 半導(dǎo)體設(shè)備二次配管
• 氣體控制柜
• 閥門分配箱系統(tǒng)（VMB）
相關(guān)此品牌產(chǎn)品：PARKER派克隔膜閥