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在高純氣體和電子半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，氣體純度至關(guān)重要，哪怕是極其微量的雜質(zhì)，都可能引發(fā)嚴(yán)重后果。比如在半導(dǎo)體芯片制造中，雜質(zhì)會(huì)影響芯片性能，甚至導(dǎo)致芯片報(bào)廢，造成巨大經(jīng)濟(jì)損失。傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備面對(duì)這些微小雜質(zhì)，常常力不從心，檢測(cè)結(jié)果不盡人意。

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