操作使用萊寶分子泵機(jī)組是有要求的,千萬別忘了
閱讀:1840 發(fā)布時間:2020-12-21
萊寶分子泵機(jī)組是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱,是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。其內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子,支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷,正確的使用和及時的保養(yǎng),對軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。
操作要求:
1.分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏;
2.不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時打開。打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵;
3.當(dāng)M2或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作;
4.打開萊寶分子泵機(jī)組之前,必須先打開冷卻水閥。葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥;
5.每次停機(jī)后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞;
6.當(dāng)出現(xiàn)警告信息“EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)槍進(jìn)行檢查。在再次打開之前,請確保水路暢通。當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號時,嚴(yán)禁再次啟動分子泵進(jìn)行后處理。
7.當(dāng)分子泵出現(xiàn)故障無法使用時,應(yīng)暫停生產(chǎn),并在手動充滿空氣后更換備用分子泵;
8.當(dāng)分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作;
9.當(dāng)萊寶分子泵機(jī)組發(fā)生故障時,必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。