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Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器
對于大數(shù)額訂單，Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟的氣體流量控制方案。專為原始設(shè)備制造商（OEM）無應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計的BASIS輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特*的快速閥門控制。
·可靠。Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器絕不會讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時仍像第一天一樣。
·靈敏。您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器具有控制速度和閥門調(diào)節(jié)，能帶給用戶的益處將遠遠超出預(yù)期。
·兼容。Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當廣，輕便靈巧、多氣體標定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項目設(shè)計提供更大的靈活性。
性能
·可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
·可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
·校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
·可重復(fù)性：0.5%滿量程
·標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
·預(yù)熱時間：70ms，達到完整精度
工作條件
·兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）
·工作溫度：0°C至+50°C
·大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
·耐受壓力：175 psig（190 psia）
·STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
