微區(qū)電化學(xué)掃描顯微鏡由以下基本部分組成：產(chǎn)生電子束的柱形鏡簡，電子束與樣品發(fā)生相互作用的樣品室，檢測樣品室所產(chǎn)生信號的探頭，以及將信號變因像的數(shù)據(jù)處理與顯示系統(tǒng)。
微區(qū)電化學(xué)掃描顯微鏡的保養(yǎng)方法：
1.保持儀器操作臺面整潔，不允許身體倚靠，凍水機(jī)等裝置不可放置重物
2.開機(jī)時(shí)一定要先開水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度，關(guān)機(jī)至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水
3.進(jìn)樣品時(shí),檢查Z軸和T軸的位置.緩緩關(guān)閉樣品室,確保進(jìn)樣倉門*關(guān)閉,才可點(diǎn)擊EVAC按鈕抽氣
4.移動(dòng)樣品，通過配合移動(dòng)Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動(dòng)，從而移動(dòng)樣品，并保證小于較大允許值
5.傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當(dāng)心，不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的較大安全角度必須小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴
6.用BSE探頭時(shí)不可傾斜樣品臺
7.樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時(shí)要關(guān)閉高壓
8.放氣時(shí)HT必須處于關(guān)閉狀態(tài)，必須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門
9.更換鎢燈絲時(shí)， 等待兩分鐘時(shí)間，然后打開電子槍，用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷
10.電鏡需要手動(dòng)調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散，工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等，其他部件不允許調(diào)整
11.每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過四天。
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