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知道什么是電感耦合等離子體嗎?

閱讀:4175      發(fā)布時間:2022-4-29
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  電感耦合等離子體(ICP)是一種通過時變磁場電磁感應產(chǎn)生電流作為能源的等離子體源。主要包括等離子炬管、高頻發(fā)生器(產(chǎn)生高頻電流)、感應線圈、供氣系統(tǒng)和霧化系統(tǒng)。火炬管由三層同心石英玻璃管組成。切向引入外管的氬氣是等離子工作氣體或冷卻氣體,引入中管的氬氣是輔助氣體。內(nèi)管中的氬氣是載氣,樣品氣溶膠被引入炬管。
  

電感耦合等離子體

 

  電感耦合等離子體有四種主要用途:
  
  1、等離子體光譜診斷:通過分析ICPSource的光譜分析等離子體的原子成分。參見電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法(ICP-AES);
  
  2、電感耦合等離子體質(zhì)譜:作為質(zhì)譜的離子源,進行成分分析(ICP-MS);
  
  3、反應離子刻蝕:ICPSource產(chǎn)生低溫等離子體,對材料表面進行刻蝕,改變材料的物理化學性質(zhì)(ICP-RIE);
  
  4、氣相沉積薄膜技術(shù)(RFICP)。
  
  電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法是利用激發(fā)的氣態(tài)原子或離子發(fā)射的特征光譜,確定被測物質(zhì)中元素組成和含量的方法。
  
  原子發(fā)射光譜法一般步驟:
  
  1、待測物質(zhì)在激發(fā)光源中蒸發(fā)、解離、電離并被激發(fā)產(chǎn)生光輻射;
  
  2、產(chǎn)生的復合光通量色散太輕,無法形成光譜;
  
  3、檢測光譜線的波長和強度進行分析。

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