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INFICON PSG502-2壓力計(jì)

閱讀:571        發(fā)布時(shí)間:2020-3-14

PSG5xx ATM至中真空表

PSG50x tiba29.png

 

INFICON Pirani標(biāo)準(zhǔn)壓力表PSG500,PSG502-S,PSG510-S和PSG512-S采用了市場上的數(shù)字Pirani技術(shù)。堅(jiān)固的不銹鋼傳感器單元和緊湊的設(shè)計(jì)使其能夠用于半導(dǎo)體系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,例如前真空管線 詢價(jià)請加何經(jīng)理q 9439-62050

技術(shù)指標(biāo)

類型PSG500鎢PSG500-S鎢,設(shè)定值PSG502-S鎳,設(shè)定值PSG510-S鎢,設(shè)定值,陶瓷饋通PSG512-S鎳,設(shè)定值,陶瓷饋通
測量原理                                                                                   根據(jù)皮拉尼傳熱                                                                                  根據(jù)皮拉尼傳熱                                                                                  根據(jù)皮拉尼傳熱                                                                                  根據(jù)皮拉尼傳熱                                                                                  根據(jù)皮拉尼傳熱
精度(N 2)     
1 x 10 -3 …100毫巴閱讀百分比                                                                                  ±15%                                                                                  ±15%                                                                                  ±15%                                                                                  ±15%                                                                                  ±15%
5 x 10 -4 …1 x 10 -3 mbar閱讀百分比                                                                                  ±50%                                                                                  ±50%                                                                                  ±50%                                                                                  ±50%                                                                                  ±50%
100…1000毫巴閱讀百分比                                                                                  ±50%                                                                                  ±50%                                                                                  ±50%                                                                                  ±50%                                                                                  ±50%
重復(fù)性(空氣)     
1 x 10 -3 …100毫巴閱讀百分比                                                                                  2%                                                                                  2%                                                                                  2%                                                                                  2%                                                                                  2%

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