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電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機進行晶圓去膠

發(fā)布時間：2023-03-16

電子科技大學(xué)已采購多臺等離子設(shè)備，包括PLUTO-T等離子清洗機，PLUTO-MD等離子去膠機等，用戶反饋良好。

主要涉及的應(yīng)用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

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