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上海沛沅儀器設(shè)備有限公司
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首頁(yè) >> 成功案例 >> 電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠
電子科技大學(xué)已采購(gòu)多臺(tái)等離子設(shè)備，包括PLUTO-T等離子清洗機(jī)，PLUTO-MD等離子去膠機(jī)等，用戶反饋良好。
主要涉及的應(yīng)用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機(jī)物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。
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