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技術(shù)文章

Entegris FV-50DI擴(kuò)散器WG3D50DR2優(yōu)勢(shì)簡(jiǎn)介

閱讀:332          發(fā)布時(shí)間:2022-3-30

Entegris FV-50DI擴(kuò)散器WG3D50DR2優(yōu)勢(shì)簡(jiǎn)介

功能和優(yōu)點(diǎn)


燒結(jié)鎳技術(shù)


在一個(gè)緊湊的擴(kuò)散器單元中


提供的性能


在所有應(yīng)用中


去除大于


距離進(jìn)氣0.0015µm


最小化晶圓上的缺陷


易于安裝/改裝到


現(xiàn)有工具


最大限度地減少停機(jī)時(shí)間(包括


加載鎖室,冷卻


錢伯斯,轉(zhuǎn)移錢伯斯


(和工藝室)


制造、測(cè)試和測(cè)試


包裝在潔凈室


確保產(chǎn)品的清潔度


安裝時(shí)間


快速排氣,溫和流動(dòng)


大氣


減少循環(huán)時(shí)間,增加


吞吐量和OEE


額定循環(huán)次數(shù)為100000次


換衣服之前


穩(wěn)健高效

尚伯加德™


快速排氣擴(kuò)散器


減少空氣中的顆粒和排氣時(shí)間


負(fù)載鎖定和傳輸室


尚伯加德™ 快速排氣擴(kuò)散器是可靠排氣的選擇


通過(guò)最小化負(fù)載鎖定通風(fēng)循環(huán)來(lái)提高系統(tǒng)吞吐量


時(shí)間這些擴(kuò)散器向大氣快速排氣


無(wú)需干擾或向腔室中的晶片添加顆粒。


它們結(jié)合了擴(kuò)散器的流動(dòng)特性和高流動(dòng)性


高效過(guò)濾器可提高效率和吞吐量

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