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技術文章

Entegris FV-50DI擴散器WG3D50DR2優(yōu)勢簡介

閱讀:336          發(fā)布時間:2022-3-30

Entegris FV-50DI擴散器WG3D50DR2優(yōu)勢簡介

功能和優(yōu)點


燒結鎳技術


在一個緊湊的擴散器單元中


提供的性能


在所有應用中


去除大于


距離進氣0.0015µm


最小化晶圓上的缺陷


易于安裝/改裝到


現有工具


最大限度地減少停機時間(包括


加載鎖室,冷卻


錢伯斯,轉移錢伯斯


(和工藝室)


制造、測試和測試


包裝在潔凈室


確保產品的清潔度


安裝時間


快速排氣,溫和流動


大氣


減少循環(huán)時間,增加


吞吐量和OEE


額定循環(huán)次數為100000次


換衣服之前


穩(wěn)健高效

尚伯加德™


快速排氣擴散器


減少空氣中的顆粒和排氣時間


負載鎖定和傳輸室


尚伯加德™ 快速排氣擴散器是可靠排氣的選擇


通過最小化負載鎖定通風循環(huán)來提高系統吞吐量


時間這些擴散器向大氣快速排氣


無需干擾或向腔室中的晶片添加顆粒。


它們結合了擴散器的流動特性和高流動性


高效過濾器可提高效率和吞吐量

IOVENZANA 速優(yōu)源品質PL005021

 速優(yōu)源品質

Italvibras 速優(yōu)源品質MVSI3/800-S020.65KW 380V 3000HZ 0.09mm

TOSRAKOVNIK 速優(yōu)源品質TR1-04T-1 

EMG Automation 速優(yōu)源品質EB800-60 II NR.199308

PHOENIX CONTACT 速優(yōu)源品質TYP DEK1.5 DEK-REL-24/1/1 Art.Nr.:2940171

JAQUET 速優(yōu)源品質1810.00S1TV

 速優(yōu)源品質

ODE 速優(yōu)源品質BDV08230AY

JETTER 速優(yōu)源品質JL3-0250-25-3RVBS-A

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SCHRACK 速優(yōu)源品質ZR 058290

 速優(yōu)源品質

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voss 速優(yōu)源品質G1/8 17 84 22 20 00 

Gneuss 速優(yōu)源品質MT102B50Z004800 DAI-2E2-12A-B50Z-S0-F5-R-W-6P

 速優(yōu)源品質

PCH 速優(yōu)源品質PCH 1270/CHF8004

ENGLER 速優(yōu)源品質ANM-25.305.2,5


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