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Entegris FV-50DI擴散器WG3D50DR2優(yōu)勢簡介

功能和優(yōu)點

燒結鎳技術

在一個緊湊的擴散器單元中

提供的性能

在所有應用中

去除大于

距離進氣0.0015µm

最小化晶圓上的缺陷

易于安裝/改裝到

現(xiàn)有工具

最大限度地減少停機時間（包括

加載鎖室，冷卻

錢伯斯，轉(zhuǎn)移錢伯斯

（和工藝室）

制造、測試和測試

包裝在潔凈室

確保產(chǎn)品的清潔度

安裝時間

快速排氣，溫和流動

大氣

減少循環(huán)時間，增加

吞吐量和OEE

額定循環(huán)次數(shù)為100000次

換衣服之前

穩(wěn)健高效

尚伯加德™

快速排氣擴散器

減少空氣中的顆粒和排氣時間

負載鎖定和傳輸室

尚伯加德™ 快速排氣擴散器是可靠排氣的選擇

通過最小化負載鎖定通風循環(huán)來提高系統(tǒng)吞吐量

時間這些擴散器向大氣快速排氣

無需干擾或向腔室中的晶片添加顆粒。

它們結合了擴散器的流動特性和高流動性

高效過濾器可提高效率和吞吐量

IOVENZANA 速優(yōu)源品質(zhì)PL005021

 速優(yōu)源品質(zhì)

Italvibras 速優(yōu)源品質(zhì)MVSI3/800-S020.65KW 380V 3000HZ 0.09mm

TOSRAKOVNIK 速優(yōu)源品質(zhì)TR1-04T-1 

EMG Automation 速優(yōu)源品質(zhì)EB800-60 II NR.199308

PHOENIX CONTACT 速優(yōu)源品質(zhì)TYP DEK1.5 DEK-REL-24/1/1 Art.Nr.:2940171

JAQUET 速優(yōu)源品質(zhì)1810.00S1TV

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ODE 速優(yōu)源品質(zhì)BDV08230AY

JETTER 速優(yōu)源品質(zhì)JL3-0250-25-3RVBS-A

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SCHRACK 速優(yōu)源品質(zhì)ZR 058290

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voss 速優(yōu)源品質(zhì)G1/8 17 84 22 20 00 

Gneuss 速優(yōu)源品質(zhì)MT102B50Z004800 DAI-2E2-12A-B50Z-S0-F5-R-W-6P

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PCH 速優(yōu)源品質(zhì)PCH 1270/CHF8004

ENGLER 速優(yōu)源品質(zhì)ANM-25.305.2,5

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