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Entegris FV-50DI擴(kuò)散器WG3D50DR2優(yōu)勢(shì)簡介

功能和優(yōu)點(diǎn)

燒結(jié)鎳技術(shù)

在一個(gè)緊湊的擴(kuò)散器單元中

提供的性能

在所有應(yīng)用中

去除大于

距離進(jìn)氣0.0015µm

最小化晶圓上的缺陷

易于安裝/改裝到

現(xiàn)有工具

最大限度地減少停機(jī)時(shí)間（包括

加載鎖室，冷卻

錢伯斯，轉(zhuǎn)移錢伯斯

（和工藝室）

制造、測(cè)試和測(cè)試

包裝在潔凈室

確保產(chǎn)品的清潔度

安裝時(shí)間

快速排氣，溫和流動(dòng)

大氣

減少循環(huán)時(shí)間，增加

吞吐量和OEE

額定循環(huán)次數(shù)為100000次

換衣服之前

穩(wěn)健高效

尚伯加德™

快速排氣擴(kuò)散器

減少空氣中的顆粒和排氣時(shí)間

負(fù)載鎖定和傳輸室

尚伯加德™ 快速排氣擴(kuò)散器是可靠排氣的選擇

通過最小化負(fù)載鎖定通風(fēng)循環(huán)來提高系統(tǒng)吞吐量

時(shí)間這些擴(kuò)散器向大氣快速排氣

無需干擾或向腔室中的晶片添加顆粒。

它們結(jié)合了擴(kuò)散器的流動(dòng)特性和高流動(dòng)性

高效過濾器可提高效率和吞吐量

IOVENZANA 速優(yōu)源品質(zhì)PL005021

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