Sievers Boron Ultra在線型UPW硼分析儀是新一代的超純水（UPW，Ultrapure Water）硼分析儀，能檢測萬億分之一（ppt）的溶解硼濃度。Boron Ultra分析儀是市面上僅有的一款實(shí)時在線型硼分析儀，幫助許多微電子制造商和超純水系統(tǒng)擁有者連續(xù)監(jiān)測硼控制工藝，滿足“國際器件與系統(tǒng)路線圖（IRDS，International Roadmap for Devices and Systems）"有關(guān)超純水的規(guī)格要求（即50 ppt）。
Sievers Boron Ultra分析儀能夠檢測到二氧化硅釋放前硼的增加，有助于防止二氧化硅泄漏到超純水中。此款分析儀能夠主動檢測到從工藝（如混合樹脂床離子交換工藝和電子去離子化工藝）中釋放出來的二氧化硅和其它離子污染物，從而幫助用戶提高有效產(chǎn)出和降低離子交換工藝成本。
本文件介紹新款Sievers Boron Ultra的主要亮點(diǎn)，以及與舊款硼分析儀的比較。
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威立雅Sievers分析儀 | 下載次數(shù) |
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