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真空度測試儀的測試原理

閱讀:723        發(fā)布時間:2019-10-8

真空度測試儀的測試原理

利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同,來測試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。
將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距,動觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負(fù)離子電流。由于漏電電流非常弱,易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此,必須通過勵磁線圈繞于滅弧室外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場來,加速離子流,按比例放大采樣率。這樣,在脈沖磁場的作用下,滅弧室中的電子作螺旋運動,并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于直徑不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同。通過實驗可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電流后,調(diào)用內(nèi)部相對應(yīng)的比例參樣,加以運算,得出準(zhǔn)確真實真空度值。也就是說通過查詢該管型的離子電流——真空度曲線獲得該管型的真空度,這一過程由計算機自動完成。


技術(shù)參數(shù)

?所測真空泡:電壓等級6KV-35KV以上
?測量范圍:10-5-10-1Pa
?測量誤差:10-4-10-1Pa中誤差±10%
?測量分辨率:10-5 Pa
?漏氣的滅弧室在測量中將發(fā)生電擊穿,本機處于保護狀態(tài)。
?允許環(huán)溫:-20℃-50℃,如在0℃以下測試時請先將機器通電20分鐘后再使用。
?空氣濕度:<85%RH
?輸入電源:AC220V±10% 50/60HZ
?外形尺寸:350×320×225mm

 

 

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