1、腔體材質(zhì)由原來不銹鋼修改為全鋁合金一體加工成形
2 、原來進(jìn)氣口利用管道接頭進(jìn)行連接現(xiàn)在直接在腔體側(cè)壁整體加工進(jìn)氣管道減少至少3處管道連接口從而減小漏氣故障率
3、原來設(shè)備寬度435mm 減小到420mm
4 、濺射磁場比原來加強(qiáng)
5、濺射靶材壓板安裝優(yōu)化,無需把壓板螺絲全部拆卸,即可拿掉壓板進(jìn)行靶材安裝
6、兩款產(chǎn)品全部預(yù)留了SMA擴(kuò)展口 進(jìn)行晶振或者其他信號輸入輸出