目錄:深圳市達瑞博電子有限公司>>光學(xué)儀器及設(shè)備>>橢圓偏光儀>> S3000A橢圓偏光儀
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 |
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RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀
Rudolph S3000A 橢圓偏光儀概述
先進的光譜橢圓儀
高性能，精確度高
多通道雙波長光譜橢圓儀
波長范圍廣（118-8000nm）
材料范圍廣泛（有機和無機半導(dǎo)體、薄膜等）
可測量薄膜厚度和光學(xué)性能
重復(fù)性和可靠性
自校準光機、光纖激光二極管源和高分辨率彩色CCD檢測器
基于Windows操作系統(tǒng)，先進流程控制軟件
自動化測量薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)、應(yīng)力和折射率
半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)用透明度計量工具
晶圓測試和計量設(shè)備，適用于半導(dǎo)體和高級封裝生產(chǎn)線
無損光學(xué)成像技術(shù)
X射線探測技術(shù)，測量粒子/缺陷密度、尺寸和材料特性
晶圓尺寸為12英寸
設(shè)計用于300mm fab范圍內(nèi)的應(yīng)用
RUDOLPH S3000A是一款高性能的橢圓偏光儀，廣泛應(yīng)用于薄膜和表面的無損測量。該設(shè)備具有以下主要特點：
高精度與高重復(fù)性：RUDOLPH S3000A能夠提供精確、可靠的測量結(jié)果，適用于科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用。
多通道雙波長設(shè)計：它是一種先進的多通道、雙波長光譜橢圓偏光儀，可以同時對多達四個樣品進行測量，確保了結(jié)果的可重復(fù)性和可靠性。
寬波長范圍：該設(shè)備支持從118到8000納米的廣泛波長范圍，能夠測量有機和無機半導(dǎo)體、薄膜、光學(xué)層和基板等多種材料。
溫度控制與數(shù)據(jù)收集：配備溫度控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)收集功能，使得用戶可以方便地進行旋轉(zhuǎn)分析和數(shù)據(jù)分析。
自校準光機與高分辨率檢測器：配備自校準光機和高分辨率彩色CCD檢測器，確保了測量的準確性和長期穩(wěn)定性。
用戶友好的軟件工具：基于Windows的操作系統(tǒng)和先進的流程控制軟件，使操作更加簡便，并且便于定制和分析。
晶片尺寸兼容性：可以測量最大150毫米的晶片，樣本厚度范圍為1毫米至4毫米，還可以通過選配模塊提升性能。
應(yīng)用領(lǐng)域：該設(shè)備不僅適用于薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)的測量，還能夠測量應(yīng)力和折射率等物理特性，適用于各種科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用。
總之，RUDOLPH S3000A是一款功能強大且用途廣泛的橢圓偏光儀，適合需要高精度和高重復(fù)性的科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
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