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數(shù)字化智能四探針測試儀的研制
閱讀：302 發(fā)布時間：2020-2-3摘要：將傳統(tǒng)直流四探針測試儀與嵌入式系統(tǒng)相結(jié)合，研制出數(shù)字化智能四探針測試儀。該儀器可以自動識別被測樣品電阻率，并自動切換到很好檔位，操作簡便工作效率高,具有一定的實用和開發(fā)價值。
1 引言
直流四探針測試法是微電子行業(yè)常用的測量材料電阻率的方法，通過測量材料的電阻率可以得到材料的摻雜濃度等重要信息。因此，在微電子工業(yè)中四探針測試儀一直是十分重要的測量儀器。
近年來，微電子工業(yè)在中國大陸發(fā)展迅速，傳統(tǒng)的數(shù)字式直流四探針測試儀需要手動調(diào)節(jié)檔位，測量周期長、工作效率低，已經(jīng)無法適應時代發(fā)展，國內(nèi)需要尋求一種新型的測試設備。
本文中介紹的數(shù)字化智能四探針測試儀可以自動切換量程、自動運算相關的數(shù)據(jù)。用戶甚至可以在不了解四探針測試原理的情況下方便地測量材料的電阻率。該儀器具有PC機接口，通過PC機可以集中管理且硬件成本低廉。