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傳感器
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電源

MEMS壓力傳感器的原理

時間:2023/1/31閱讀:939
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MEMS技術(shù)的主要優(yōu)勢有:

體積小,重量輕

量程小,小到幾個kpa的壓力

具有很高的精度

可以做出絕壓、表壓、壓差,選擇柔性高

更適合大批量和高效率的生產(chǎn)

MEMS產(chǎn)品是采用MEMS技術(shù)將感壓單元和信號處理芯片集成在一個只有幾毫米的MEMS芯片上,后期進行必要的封裝而來。MEMS產(chǎn)品在我們的生活中隨處可見,如電子血壓計里面的感壓單元,手機麥克風,數(shù)碼相機的光學防抖所用的陀螺儀等。

MEMS測量壓力的原理

MEMS測量壓力的原理是在感壓膜片上集成幾個MEMS壓敏電阻,這幾個壓敏電阻通過綁線實現(xiàn)與外部的電氣連接,并組成一個惠斯通電橋。

惠斯通電橋

當壓力作用在感壓膜片上后,產(chǎn)生機械應(yīng)力,使得橋臂電阻發(fā)生變化,并通過外部電路將這個微小的電壓變化進行放大和處理,最終輸出正比于壓力的電壓或者數(shù)字信號。

MEMS工作原理

關(guān)于壓差傳感器的選型,需要根據(jù)應(yīng)用需求的不同,主要考慮壓力量程、使用溫度、輸出信號格式、上下拉電阻、精度這五點。另外,根據(jù)不同的安裝需求,如螺栓孔的數(shù)量、壓力端口的直徑以及接插件型號等,可以選擇不同外形的壓差傳感器。


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