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在半導(dǎo)體里面表示壓強(qiáng)的單位分別有哪些,有什么區(qū)別呢?

時(shí)間:2024/1/19閱讀:1097
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在實(shí)際的應(yīng)用中,我們所說的壓力常常指壓強(qiáng),壓力傳感器實(shí)際測的是壓強(qiáng),真空壓力指的也是壓強(qiáng)。那么在半導(dǎo)體里面,表示壓強(qiáng)的單位分別有哪些,有什么區(qū)別呢?

帕 Pa

國際標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)單位,也是應(yīng)用廣泛的壓強(qiáng)單位。這個(gè)單位是為紀(jì)念法國數(shù)學(xué)家、物理學(xué)家兼哲學(xué)家布萊士·帕斯卡(Blaise Pascal )而命名。1Pa相當(dāng)于1N/m2。引出的有百帕hPa,千帕kPa,兆帕MPa等。在半導(dǎo)體設(shè)備中,有部分國產(chǎn)設(shè)備采用Pa來表示真空度。

巴 Bar

工程常用單位,1bar相當(dāng)于100000Pa。因?yàn)闇y量大氣壓引出,規(guī)定一個(gè)大氣壓是1Bar,即每平方厘米受到1公斤的大氣壓力為1巴。也可引出毫巴等單位。在常常用在半導(dǎo)體設(shè)備中表示真空度,高真空(highvacuum,HV)一般定義為 >1E-7mbar。

托 Torr

托的命名是為了紀(jì)念意大利物理學(xué)家托里拆利(EvangelistaTorricelli),他的首要發(fā)明是水銀氣壓計(jì)。用汞柱表示,1Torr是指“將細(xì)直管內(nèi)的水銀頂高一毫米之壓力",相當(dāng)于760mm汞柱的壓力,值是大氣壓力的 1/760 。在半導(dǎo)體鍍膜、刻蝕設(shè)備中,常用Torr表示真空度,如5E-5Torr。

PSI

用單位面積英寸上的鎊來表示壓強(qiáng),美國習(xí)慣使用psi作單位,意為磅力/平方英寸,是一個(gè)英制單位。在半導(dǎo)體設(shè)備中不太能看到psi表示真空度,在MEMS壓力傳感器和控制器中,psi常常作為壓強(qiáng)單位出現(xiàn)表示氣壓或者油壓的大小,特別是美國的器件中。

atm

標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,相當(dāng)于101325Pa。因?yàn)闇y量大氣壓引出,規(guī)定一個(gè)大氣壓是1atm,一般只用于表示大氣壓強(qiáng)。

在半導(dǎo)體設(shè)備中,壓強(qiáng)單位常常表示真空度,這里給出常見的真空的劃分及應(yīng)用:

粗真空(負(fù)壓):10E5~10E2Pa,用于真空干燥和浸漬;

低真空:10E2~10E-1Pa,用于熱處理和低壓化學(xué)沉積;

高真空:10E-1~10E-6Pa,用于真空鍵合、物理氣相鍍膜和刻蝕等;

超高真空:<10E-6Pa,用于表面分析,MBE等特殊鍍膜設(shè)備。


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