本文轉(zhuǎn)載自微信公眾號：中國科大理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心
近日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心新安裝了國儀量子自主研制的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前，該設(shè)備已完成前期調(diào)試，即將投入試運(yùn)行。
中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心是中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)公共技術(shù)創(chuàng)新平臺實(shí)驗(yàn)中心之一，從1979年開始籌建。中心以“集中投入、統(tǒng)一管理、開放公用、資源共享"為建設(shè)原則，以建立條件優(yōu)良、功能配套、管理規(guī)范、先進(jìn)高效的優(yōu)質(zhì)資源和共享機(jī)制為建設(shè)目標(biāo)，為培養(yǎng)創(chuàng)新人才和開展高水平科學(xué)研究工作提供技術(shù)支撐，為社會經(jīng)濟(jì)建設(shè)提供技術(shù)保障。作為學(xué)校最早建成的大型儀器開放平臺，中心不僅承擔(dān)著相關(guān)院系、國家研究中心、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，省部級實(shí)驗(yàn)室以及國家、省部級等各類科研項(xiàng)目的技術(shù)支持分析測試任務(wù)，同時，也對相關(guān)學(xué)科提供教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)條件與環(huán)境。
SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴(kuò)展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強(qiáng)，帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
超高分辨率成像，達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景
高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響
最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
應(yīng)用案例
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