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HCP421V-PM微型探針冷熱臺可單獨使用,也可搭配顯微鏡/光譜儀使用。其可在-190℃~400℃范圍內控溫,同時允許探針電測試、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔,亦可內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。
微型探針冷熱臺功能特點
迷你溫控探針臺,可用于顯微鏡/光譜儀
-190℃~400℃可編程控溫(負溫需配液氮制冷系統(tǒng))
φ26 mm加熱區(qū)
可抽真空的腔體,亦可充入保護氣體使用
SMA接頭轉BNC四探針,手動點針,
*可選六探針*可選三同軸接口,用于pA的級測試
溫控參數
溫度范圍-190℃~400℃(負溫需配液氮制冷系統(tǒng))
傳感器/溫控方式100Ω鉑RTD/PID控制(含LVDC降噪電源)
最大加熱/制冷速度30℃/min
最小加熱/制冷速度±0.01℃/min
溫度分辨率0.01℃
溫度穩(wěn)定性±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)
軟件功能可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線
電學參數
探針默認為錸鎢材質的彎針探針*可選其他種類探針
探針座杠桿式探針支架,點針力度更大,電接觸性更好
點針手動點針,每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置
探針接口默認為SMA接頭轉BNC
*可增設腔內接線柱(樣品接電引線)
樣品臺面電位默認為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口
非磁性改造臺體可改用非磁性材質制造,用于變溫霍爾效應探針測試
光學參數
適用光路反射光路*另有透射光路型號
窗片可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離8 mm*截面圖中WD
透光孔臺面默認無通光孔,可增設通光孔以支持透射光路
上蓋窗片觀察窗片范圍φ18mm,最大視角±45°*截面圖中θ1
負溫下窗片除霜吹氣除霜管路
結構參數
加熱區(qū)/樣品區(qū)φ26 mm
樣品腔高5.8 mm*樣品最大厚度由探針決定
放樣打開上蓋后置入樣品再點針,關上蓋后無法移動探針
氣氛控制可抽真空的腔體,亦可充入保護氣體使用
外殼冷卻可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近
安裝方式水平安裝或垂直安裝
臺體尺寸/重量180 mm x 130 mm x 27 mm/1600g
配置列表
基本配置HCP421V-PM溫控探針臺、mK2000B溫控器、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)
可選配件安裝支架、測試源表、真空系統(tǒng)、三同軸BNC接口、臺面電懸空、樣品接電引線