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Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)

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光電編碼器的測(cè)量精度受軸系精度、圓光柵精度、電子學(xué)細(xì)分精度等多種因素影響,而圓光柵盤的偏心作為重要的系統(tǒng)誤差,直接影響了光電編碼器的測(cè)角精度。隨著光柵線密度的增大,衍射現(xiàn)象變得明顯,此時(shí)傳統(tǒng)的莫爾條紋檢測(cè)方法已無(wú)法提取出高質(zhì)量的信號(hào),顯微鏡檢測(cè)的精度無(wú)法滿足實(shí)際要求。本文利用衍射光干涉原理,提取高密度圓光柵位移信息,用于測(cè)量高密度圓光柵的偏心量。該方法使用對(duì)徑放置的兩個(gè)光電讀數(shù)頭采集干涉條紋信號(hào),通過(guò)對(duì)比兩路信號(hào)的相位差最終解算得到圓光柵盤偏心量,并搭建了試驗(yàn)平臺(tái)進(jìn)行了驗(yàn)證。試驗(yàn)結(jié)果表明,對(duì)刻劃中徑34 mm,一周刻線45 000 lp的高密度圓光柵進(jìn)行偏心量的測(cè)量,比傳統(tǒng)方法使用顯微鏡的測(cè)量瞄準(zhǔn)精度提高數(shù)十倍甚至上百倍。

Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)杭州卓德優(yōu)勢(shì)供應(yīng)現(xiàn)貨

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Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)高精度計(jì)量圓光柵,是近代光電測(cè)角儀器和測(cè)角技術(shù)的重要基礎(chǔ)元件.以計(jì)量圓光柵為核心部件組成的光電傳感器,可將輸入的機(jī)械量轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的數(shù)字量,與數(shù)顯裝置或計(jì)算機(jī)連接構(gòu)成測(cè)量,控制系統(tǒng),易于實(shí)現(xiàn)機(jī)器及儀器的自動(dòng)測(cè)量,數(shù)字測(cè)量與數(shù)字控制,其應(yīng)用正向著更加廣泛的領(lǐng)域滲透. 論文首先簡(jiǎn)述了計(jì)量圓光柵技術(shù)的發(fā)展歷史,在此基礎(chǔ)上對(duì)計(jì)量圓光柵技術(shù)在角度數(shù)字測(cè)量,運(yùn)動(dòng)比較測(cè)量,傳動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)角測(cè)量等方面的應(yīng)用,計(jì)量圓光柵的制造,檢測(cè)及精度評(píng)定和測(cè)量系統(tǒng)所涉及的關(guān)鍵技術(shù)以及計(jì)量圓光柵的發(fā)展動(dòng)向作了綜述性的分析與評(píng)論,從而引出了論文的主要研究?jī)?nèi)容,即計(jì)量圓光柵的原理,制造及檢測(cè)技術(shù)研究. 論文對(duì)光柵莫爾條紋形成的幾何原理進(jìn)行了簡(jiǎn)要介紹;對(duì)計(jì)量圓光柵莫爾條紋方程,莫爾光場(chǎng)和幾種典型的圓光柵莫爾條紋進(jìn)行了概述;對(duì)計(jì)量圓光柵及測(cè)量系統(tǒng)的關(guān)鍵問(wèn)題進(jìn)行了分析,比較與討論,對(duì)計(jì)量圓光柵及測(cè)量系統(tǒng)的判向信號(hào)及判向電路設(shè)計(jì)進(jìn)行了討論;對(duì)圓光柵測(cè)量系統(tǒng)莫爾信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換以及光電轉(zhuǎn)換過(guò)程中的溫度漂移誤差和誤差補(bǔ)償問(wèn)題進(jìn)行了分析與研究,在分析現(xiàn)有光電轉(zhuǎn)換電路不足的同時(shí),提出了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,精度高,能有效進(jìn)行溫度漂移補(bǔ)償?shù)墓怆娹D(zhuǎn)換電路,并結(jié)合實(shí)際應(yīng)用的需要,給出了應(yīng)用實(shí)驗(yàn)的結(jié)果. 論文的一項(xiàng)重要工作是對(duì)計(jì)量圓光柵的光刻技術(shù)進(jìn)行了分析討論

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