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各種用途的DLC涂層厚度的測量
閱讀：1917 發(fā)布時(shí)間：2020-9-18
DLC（類金剛石碳）是無定形碳基材料。由于其高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨性、電絕緣性、高阻隔性、表面改性以及與其他材料的親和性等特征，被廣泛用于各種用途。近年來，根據(jù)各種不同的應(yīng)用，膜厚度測量的需求也在增加。
一般做法是通過使用電子顯微鏡觀察準(zhǔn)備的監(jiān)測樣品橫截面來進(jìn)行破壞性的DLC厚度測量。而大塚電子采用的光干涉型膜厚計(jì)，則可以非破壞性地和高速地進(jìn)行測量。通過改變測量波長范圍，還可以測量從極薄膜到超厚膜的廣范圍的膜厚度。
通過采用我們自己的顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，不僅可以測量監(jiān)測樣品，還可以測量有形狀的樣品。此外，監(jiān)視器一邊確認(rèn)檢查測量位置一邊進(jìn)行測量的方式，還可以用于分析異常原因。
支持定制的傾斜/旋轉(zhuǎn)平臺，可對應(yīng)各種形狀?？梢詼y量實(shí)際樣本的任意多處位置。
光學(xué)干涉膜厚度系統(tǒng)的薄弱點(diǎn)是在不知道材料的光學(xué)常數(shù)（nk）的情況下，無法進(jìn)行準(zhǔn)確的膜厚度測量，對此大塚電子通過使用*的分析方法來確認(rèn)：多點(diǎn)分析。通過同時(shí)分析事先準(zhǔn)備的厚度不同的樣品即可測量。與傳統(tǒng)測量方法相比，可以獲得*精度的nk。
通過NIST（美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院）認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)，保證了可追溯性。