日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3
特征
- 熱物理性質(zhì)顯微鏡是一種測量熱導(dǎo)率的裝置，熱導(dǎo)率是熱物理性質(zhì)值之一。
- 它是一種可以通過點(diǎn)，線和表面來測量樣品的熱性能的設(shè)備。
- 也可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布，這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
- 它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測量的設(shè)備。
- 利用檢測到的3μm的光斑直徑，可以在高分辨率的微小區(qū)域中測量熱物理性質(zhì)（點(diǎn)/線/表面測量）。
- 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測量，因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
- 您也可以測量基材上的樣品。
- 激光非接觸式測量。
- 可以檢測薄膜下方的裂縫，空隙和剝離。
熱物理顯微鏡的測量原理（概述）
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。
- 由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)（熱解法），因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測激光器的反射強(qiáng)度的變化，來測量表面的相對溫度變化。去做。
- 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。?
日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3
主要規(guī)格
| 名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
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| 測量方式 | 熱物理性質(zhì)分布測量（1維，2維，1點(diǎn)） |
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| 測量項目 | 熱滲透率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率） |
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| 檢測光斑直徑 | 約3μm |
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| 1點(diǎn)測量標(biāo)準(zhǔn)時間 | 10秒 |
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| 待測薄膜 | 厚度幾百納米到幾十微米 |
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| 重復(fù)精度 | 耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％ |
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| 樣品 | 1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi)，厚度3mm以內(nèi)- 需要對樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。
- 樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。
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| 工作溫度極限 | 24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器） |
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| 平臺移動距離 | ? X軸方向20mm
? Y軸方向20mm
? Z軸方向10mm |
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| 加熱激光 | 半導(dǎo)體激光波長：808nm |
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| 檢測激光 | 半導(dǎo)體激光波長：658nm |
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| 電源供應(yīng) | 交流100V 1.5kVA |
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| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架，參考樣品 |
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| 選項 | 光學(xué)壓盤，空調(diào)，空調(diào)房，飛濺裝置 |
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