| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
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真空環(huán)境光譜共焦傳感器在工業(yè)精密測(cè)量領(lǐng)域，面對(duì)鏡面、透明材料、復(fù)雜曲面及嚴(yán)苛環(huán)境的挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)傳感器常顯乏力。LTC 光譜共焦位移傳感器憑借突破性的光學(xué)設(shè)計(jì)與技術(shù)創(chuàng)新，不僅實(shí)現(xiàn)了亞微米級(jí)精度的穩(wěn)定測(cè)量，更可根據(jù)客戶需求定制真空環(huán)境專用版本，為半導(dǎo)體、航空航天、高duan制造等領(lǐng)域提供極zhi可靠的測(cè)量方案。
高精度測(cè)量新標(biāo)gan：LTC 光譜共焦位移傳感器 —— 支持真空環(huán)境定制化解決方案
引言
真空環(huán)境光譜共焦傳感器在工業(yè)精密測(cè)量領(lǐng)域，面對(duì)鏡面、透明材料、復(fù)雜曲面及嚴(yán)苛環(huán)境的挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)傳感器常顯乏力。LTC 光譜共焦位移傳感器憑借突破性的光學(xué)設(shè)計(jì)與技術(shù)創(chuàng)新，不僅實(shí)現(xiàn)了亞微米級(jí)精度的穩(wěn)定測(cè)量，更可根據(jù)客戶需求定制真空環(huán)境專用版本，為半導(dǎo)體、航空航天、高duan制造等領(lǐng)域提供極zhi可靠的測(cè)量方案。
真空環(huán)境光譜共焦傳感器的核心優(yōu)勢(shì)：重新定義精密測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)
1. 極zhi精度，全場(chǎng)景適配
超高重復(fù)精度與線性精度：部分型號(hào)重復(fù)精度可達(dá) 3nm，線性誤差低至 ±0.03μm，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)激光傳感器，滿足納米級(jí)精度要求。
多光斑智能切換：提供小光斑(φ1.7μm)、大光斑及四光點(diǎn)式光斑，適配微小目標(biāo)物(如芯片引腳)、粗糙表面及復(fù)雜輪廓測(cè)量，有效抑制表面凹凸干擾。
超大測(cè)量角度：支持 ±60° 測(cè)量角度，無需嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)被測(cè)物，對(duì)深孔、凹坑、曲面實(shí)現(xiàn)無si角檢測(cè)。
2. 抗干擾能力強(qiáng)，復(fù)雜環(huán)境穩(wěn)定輸出
共焦光學(xué)設(shè)計(jì)：通過針孔濾除雜光，僅聚焦位置的單色光被接收，抗環(huán)境光干擾能力卓yue，在強(qiáng)背光、多光源場(chǎng)景下仍保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定。
透明 / 鏡面材料友好：同軸共焦光路設(shè)計(jì)解決傳統(tǒng)激光傳感器在透明介質(zhì)(如玻璃、晶圓)或鏡面表面的光斑偏移問題，實(shí)現(xiàn)高度變化時(shí)測(cè)量點(diǎn)無偏差。
3. 超快響應(yīng)，高效生產(chǎn)賦能
最高 10kHz 采樣頻率：實(shí)時(shí)捕捉高速運(yùn)動(dòng)物體(如高速旋轉(zhuǎn)工件、生產(chǎn)線動(dòng)態(tài)檢測(cè))，確保動(dòng)態(tài)測(cè)量無延遲。
多接口兼容：標(biāo)配 USB、RS485、以太網(wǎng)、模擬量等 6 種 I/O 通道，支持 PC 端軟件、PLC 總線、編碼器同步觸發(fā)，無縫集成至自動(dòng)化產(chǎn)線。
4. 真空環(huán)境定制：突破極限環(huán)境約束
特殊材料與密封設(shè)計(jì)：針對(duì)真空(10??Pa 級(jí))、高低溫(-20℃~+80℃)、高潔凈等極duan環(huán)境，采用全金屬密封探頭、抗揮發(fā)涂層及真空兼容光學(xué)元件，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
行業(yè)專屬解決方案：適用于半導(dǎo)體晶圓制造(真空腔體內(nèi)厚度檢測(cè))、航空航天部件真空環(huán)境測(cè)試、OLED 面板真空貼合精度校準(zhǔn)等場(chǎng)景，定制版本經(jīng)嚴(yán)格真空環(huán)境測(cè)試，性能零衰減。
技術(shù)原理：光譜共焦，光與距離的精準(zhǔn)映射
采用白色點(diǎn)光源經(jīng)色散共焦探頭，不同波長(zhǎng)光聚焦于不同距離，形成 “光學(xué)位移標(biāo)尺”。被測(cè)物反射光通過同軸光路返回，經(jīng)針孔篩選后由光譜儀解析波長(zhǎng)分布，通過波長(zhǎng) - 位移轉(zhuǎn)換曲線實(shí)時(shí)計(jì)算距離變化。該原理避免了傳統(tǒng)三角測(cè)量法的角度依賴性，對(duì)傾斜、曲面、透明介質(zhì)實(shí)現(xiàn)無偏差測(cè)量。
產(chǎn)品矩陣：多元型號(hào)滿足差異化需求
應(yīng)用領(lǐng)域：精密制造的全能助手
半導(dǎo)體與電子：晶圓厚度 / 平整度檢測(cè)、芯片封裝高度測(cè)量、PCB 焊盤共面性分析。
光學(xué)與顯示：手機(jī)玻璃曲面 R 角測(cè)量、OLED 面板厚度均勻性檢測(cè)、鏡頭曲率高精度校準(zhǔn)。
航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片型面檢測(cè)、航空部件真空環(huán)境變形監(jiān)測(cè)、涂層厚度非接觸測(cè)量。
科研與計(jì)量：材料表面粗糙度分析、微納米器件位移標(biāo)定、生物醫(yī)學(xué)細(xì)胞顯微測(cè)量。
定制服務(wù)：從標(biāo)準(zhǔn)到專屬的精準(zhǔn)適配
真空環(huán)境適配：提供探頭密封性強(qiáng)化、真空兼容線纜、抗熱脹冷縮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，支持 10?³Pa~10??Pa 真空度定制。
特殊接口開發(fā)：根據(jù)客戶需求定制 EtherCAT、Profinet 等工業(yè)總線，或集成至特定自動(dòng)化系統(tǒng)。
光路定制：支持軸向 / 徑向出光模式、多探頭陣列集成，滿足復(fù)雜工位的多角度同步測(cè)量。
結(jié)語
LTC真空環(huán)境光譜共焦傳感器以 “高精度、高適應(yīng)、高可靠” 重塑精密測(cè)量體驗(yàn)，真空環(huán)境定制版本更打破環(huán)境限制，成為極duan工況下的首xuan方案。無論是常規(guī)產(chǎn)線的高效檢測(cè)，還是真空腔體內(nèi)的極限挑戰(zhàn)，LTC 始終以技術(shù)創(chuàng)新推動(dòng)工業(yè)測(cè)量邁向新維度。
| 系列 | 測(cè)量范圍 | 典型精度 | 光斑類型 | 特色應(yīng)用 |
| C100B/C400 | ±0.05mm~±0.2mm | 3nm~12nm | 微米級(jí)小光斑 | 手機(jī)曲面 R 角、精密電子元件 |
| C2000/C3000 | ±1mm~±1.5mm | 85nm~100nm | 中光斑 / 四光點(diǎn)式 | 金屬工件輪廓、PCB 高度差 |
| C10000/C50000 | ±5mm~±25mm | 250nm~850nm | 大光斑 | 結(jié)構(gòu)件平面度、液膜厚度檢測(cè) |
| 真空定制版 | 定制化范圍 | 亞微米級(jí)精度 | 全光斑類型兼容 | 真空腔體、高潔凈環(huán)境測(cè)量 |
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