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　　橢圓偏光儀針對(duì)LCD、OLED等新型平板顯示量產(chǎn)中所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無(wú)機(jī)封裝薄膜等質(zhì)量控制需要，專門設(shè)計(jì)的在線薄膜測(cè)量系統(tǒng)。橢偏在線監(jiān)測(cè)裝備可適用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布。

　　它可以通過(guò)檢測(cè)光線的電場(chǎng)振動(dòng)方向和相位差來(lái)確定光線的偏振狀態(tài)，包括線偏振、圓偏振和橢偏振。主要由源、樣品、分析器和檢測(cè)器等組成。當(dāng)光線經(jīng)過(guò)樣品后，會(huì)發(fā)生偏振狀態(tài)的變化，這時(shí)候通過(guò)旋轉(zhuǎn)分析器的角度來(lái)改變檢測(cè)器的接收光信號(hào)，并記錄下每個(gè)角度下的信號(hào)強(qiáng)度。對(duì)信號(hào)進(jìn)行數(shù)學(xué)處理，就可以得到樣品對(duì)光線的偏振狀態(tài)造成的影響。

橢圓偏光儀由以下幾部分組成：

　　光源：通常使用白熾燈或鈉燈作為光源。這些光源可以發(fā)出連續(xù)譜或某個(gè)特定波長(zhǎng)的單色光。

　　偏振器：偏振器可以將非偏振或線偏振的光轉(zhuǎn)化為具有確定偏振方向的偏振光。

　　樣品架：樣品架是用來(lái)放置待測(cè)樣品的位置。在偏光儀中，可以使用平板玻璃、晶體、薄膜等不同類型的樣品。

　　旋轉(zhuǎn)器：旋轉(zhuǎn)器是用來(lái)改變樣品在空間中的角度。通過(guò)測(cè)量樣品沿兩個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)角度，可以得到樣品的折射率、厚度等信息。

　　分析器：分析器是另一個(gè)偏振器，用于檢測(cè)樣品對(duì)光的旋轉(zhuǎn)和線偏振狀態(tài)的影響。

　　探測(cè)器：探測(cè)器是用來(lái)測(cè)量樣品對(duì)光的吸收率和旋光率的。在不同的偏光儀中，使用的探測(cè)器也不同，有些使用電子倍增管，有些則使用像素陣列。