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貨物所在地：湖北武漢市
所在地： 武漢市東湖高新區(qū)華工科技園創(chuàng)智
更新時(shí)間：2025-06-02 21:00:07
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在線詢(xún)價(jià)收藏產(chǎn)品( 聯(lián)系我們，請(qǐng)說(shuō)明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝?。?/p>
一、概述
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時(shí)搭配R-Theta位移臺(tái)，兼容6到12寸樣品，可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。
光學(xué)薄膜測(cè)量解決方案
非接觸、非破壞測(cè)量
核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析
膜厚重復(fù)性測(cè)量精度：0.02nm
全自動(dòng)測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、SR-Mapping反射膜厚儀采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?，光譜覆蓋紫外可見(jiàn)光到近紅外范圍
![](https://'img69.chem17.com/1cba7c2130d463f06c2cb0596fd5aec9e881c2bf8577acfffe2fcebc9b37dd14cafaeb105074bff3.png"text-align:)
3、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層
![](https://'img70.chem17.com/1cba7c2130d463f06c2cb0596fd5aec9fd9feed01432729463d56dc3d360b3f0ab7d8c1b4969dae3.png"text-align:)
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