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一、概述

SR-i 在線膜厚監(jiān)測(cè)裝備采用行業(yè)*先微納米薄膜光學(xué)測(cè)量創(chuàng)新技術(shù)，快速、連續(xù)監(jiān)測(cè)工業(yè)產(chǎn)線上各式薄膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

反射膜厚測(cè)頭與電控系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖

SR-i在線膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)支持編輯測(cè)量路徑，連續(xù)監(jiān)測(cè)并導(dǎo)出數(shù)據(jù)圖表

可在線模塊化定制，結(jié)構(gòu)緊湊、布點(diǎn)靈活、集成各式在線設(shè)備中

三、產(chǎn)品應(yīng)用

SR-i在線膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于工業(yè)產(chǎn)線級(jí)片對(duì)片，卷對(duì)卷薄膜膜厚連續(xù)在線自動(dòng)化監(jiān)測(cè)。

SR-i 膜厚測(cè)量頭技術(shù)規(guī)格：