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一、概述
SE-m是一款針對半導體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結構測量的專用型光譜橢偏儀，其采用行業(yè)較新橢偏創(chuàng)新技術，自主獨立研發(fā)出
1、超小微光斑探測測量技術
2、定制超快測量速度等技術。
可應用透明各類襯底上的減反膜、導電膜等薄膜的n/k/d測量，適用于微區(qū)圖形的各種光學參數(shù)解析。
二、特色功能
1、可定制光斑尺寸，最小可達30um；
2、超快測量，單次測量時間小于0.5秒 ；
3、系列配置靈活，支持功能定制設計；
4、光譜橢偏儀結構緊湊，更適應在線集成測量。
三、測量實例
四、應用場景
應用于光學常數(shù)測量，適用于各類光學薄膜等鍍膜檢測應用。
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