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1200°C三溫區(qū)三通道混氣C

型號(hào)：OTF-1200X-80-III-F3LV
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雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)、循環(huán)手套

型號(hào)：OTF-1200X-PESDFG-5
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小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)

型號(hào)：OTF-1200X-50S-PE-S
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雙通道ALD管式爐系統(tǒng)

型號(hào)：ALD-1200X-4
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坩堝（樣品臺(tái)）可移動(dòng)型1200°

型號(hào)：OTF-1200X-S-HPCVD
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帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

型號(hào)：OTF-1200X-50-II-P
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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

型號(hào)：OTF-1200X-50-4CLV-P
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三溫區(qū)1500°C PECVD

型號(hào)：OTF-1500X-III-4CV

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