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綜述：

無(wú)鉛錫基微焊球是微電子專(zhuān)用焊接材料。隨著電子電器產(chǎn)品微型化、高性能發(fā)展，電子封裝密度越來(lái)越高，無(wú)鉛焊料的可靠性要求越來(lái)越高。其中球形度、直徑尺寸、尺寸分布、球體表面工藝缺陷、環(huán)境試驗(yàn)特征缺陷檢查都需要大量掃描電鏡測(cè)試。

儀器介紹：

EM科特掃描電鏡分為CUBE系列、GENESIS系列、VERITAS系列。

試驗(yàn)方法：

鋁制樣品托，碳雙面導(dǎo)電膠帶粘取一層粉體，一次放入 7 個(gè)樣品托。使用條件 20kv，快速高信噪比觀察模式。1024X768 像素照相時(shí)間 10s

結(jié)果討論：

錫球掃描電鏡檢測(cè)關(guān)鍵項(xiàng)目，使用 E‐T 型二次電子探測(cè)器，具有高帶寬，搜索速度快，并可獲得大景深形貌圖像； 且對(duì)二元合金的成分分布比較清晰表征；對(duì)微米亞微米尺度破損缺陷形貌特征清晰表征；環(huán)境試驗(yàn)產(chǎn)生的缺陷，如納米級(jí)白點(diǎn)，只有用二次電子可觀察到，背散射電子探測(cè)器則無(wú)能為力。

高清圖像：14420X

3200X1600 像素，照相時(shí)間 32s

觀察球形度、尺寸分布 10kx 2kx

觀察球形度、尺寸分布缺陷 10kx 2kx

表面缺陷、球形度 10kx 2kx

二元合金表面工藝缺陷、球形度、10kx   2kx

環(huán)境試驗(yàn)失效缺陷：納米級(jí)白點(diǎn) 10kx  4kx

環(huán)境試驗(yàn)失效缺陷：納米級(jí)白點(diǎn) 25kx  10kx

二元錫基合金焊粉形貌和成分反差 2kx  10kx