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貨物所在地:上海上海
更新時(shí)間:2025-01-23 21:00:07
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筱曉光子提供FQCW266nm連續(xù)光固態(tài)激光器,具有好的相干效果。這個(gè)激光器工作在單縱模,內(nèi)置集成諧振腔。光束質(zhì)量好,輸出功率高。
● 266nm
● 連續(xù)波
● 單頻率
● 低強(qiáng)度噪聲
● M²<1.3, TEM00
● 高達(dá)100mW輸出功率
● 傳導(dǎo)性冷卻
● 設(shè)計(jì)
激光頭(單位mm)
控制單元(單位mm)

● 拉曼光譜、
● 晶圓檢測(cè)、
● 光譜學(xué)
● 要求相干長(zhǎng)度的領(lǐng)域
|              項(xiàng)目  |                          屬性  |                          參數(shù)值  |         
|              光學(xué)參數(shù)  |                          波長(zhǎng)  |                          266 ± 1 nm  |         
|              輸出功率  |                          100 ± 3 mW  |         |
|              輸出功率可調(diào)  |                          10 – 110 mW  |         |
|              線(xiàn)寬  |                          < 300 kHz  |         |
|              相干長(zhǎng)度  |                          > 1000 m  |         |
|              光束質(zhì)量因子 M²  |                          < 1.3, TEM00  |         |
|              極化取向和純度  |                          垂直, > 100:1  |         |
|              光束直徑  |                          0.6 ± 0.1 mm  |         |
|              光束發(fā)散角  |                          < 0.8 mrad  |         |
|              光束指向穩(wěn)定性(2)  |                          < 3 µrad/K, < 3 µrad/h  |         |
|              靜態(tài)對(duì)齊公差(2)  |                          橫向±0.25mm,角度±2.5mrad  |         |
|              功率穩(wěn)定性(1)  |                          < 1 %rms  |         |
|              噪聲 (100 kHz – 10 MHz)  |                          < 1 %rms  |         |
|              電學(xué)參數(shù)  |                          平均功耗(大值)  |                          < 100 W (200 W)  |         
|              線(xiàn)電壓  |                          90 - 250 V AC (50-60 Hz)  |         |
|              通信接口  |                          USB / RS232  |         |
|              安全特征  |                          鑰匙開(kāi)關(guān),聯(lián)鎖  |         |
|              附件  |                          加溫時(shí)間(冷啟動(dòng))  |                          < 15 min  |         
|              操作溫度(激光頭)  |                          20-35°C不凝結(jié)  |         |
|              激光頭尺寸  |                          91x270x379mm³(H x W x L)  |         |
|              控制單元尺寸  |                          115 x 363 x 325 mm³ (H x W x L)  |         |
|              激光頭重量  |                          14.7 kg  |         |
|              控制單元重量  |                          5.5 kg  |         
備注:
1、在溫度范圍20-35°C下預(yù)熱30分鐘后,溫度變化<1K/h。
2、對(duì)于激光束出口,規(guī)定了靜態(tài)對(duì)準(zhǔn)公差的位置和角度。
3、出口窗口配備手動(dòng)窗口過(guò)濾器(MWS),以防外部照片污染。 該激光系統(tǒng)配備了自動(dòng)水晶篩(ACS)。
(*)受保護(hù):DE10339210B4、EP1344105B1、US7027209B2、DE102010064382B4、US9429814B2
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)