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產(chǎn)品型號

   GSL-1100X-SPC-16 -3等離子三靶濺射儀

主要特點(diǎn)

  1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。

  2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得　

    *鍍膜效果。

  3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

  4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

  5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

  6、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、靶：Φ45mm

  2、真空室：Φ160mm×120mm

  3、zui高真空度：≤4×10^-2mbar

  4、靶位：3個(gè)

  5、zui大電流：50mA

  6、可設(shè)定zui長時(shí)間：900s

  7、微型真空氣閥：連接Φ3mm軟管

  8、zui高電壓：1600V  DC

  9、機(jī)械泵：2L/s

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

  金靶材

1個(gè)

2

  銀靶材

1個(gè)

3

  鋁靶材

1個(gè)

4

  進(jìn)氣針閥

1個(gè)

5

  保險(xiǎn)絲

2個(gè)

可選配件

  金、銦、銀、鉑等各種靶材