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產(chǎn)品型號

  PCE-6小型等離子清洗機

主要特點

  1、通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。

  2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

  3、設(shè)有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口。

  4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：AC220V  50/60Hz

  2、輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W

  3、真空泵功率：<500W

  4、總功率：<600W

  5、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié)

  6、等離子腔體：高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設(shè)有Φ45

                                mm的觀察窗

  7、真空泵：240L/min，直連式雙旋真空泵

  8、極限真空度：50mtorr

  9、通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性

                            質(zhì)選定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：400mm×300mm×300mm，重量：10.2kg

可選配件

  1、2″-6″石英舟（盛放基片）

  2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)