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MLS-1730系列三維納米定位臺產品由預堆疊的LS-1730系列納米馬達組成，即裝即用。所有產品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環(huán)境下使用。
平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)0.05%F.S.重復定位精度。P12B.XYZ100壓電掃描臺掃描范圍可達100μm/軸，閉環(huán)掃描精度高，直線運動無偏航。產品廣泛應用于表面測量、顯微成像等應用領域，同時適用于真空應用，滿足客戶真空應用需求。
特點
· 三維XYZ向運動
· 行程100μm/軸
· 中心通孔?10mm
· 適用于真空應用
應用領域
· 掃描顯微/表面測量
· 共焦顯微/半導體測試
· 晶圓定位/圖像處理與穩(wěn)定
· 光纖定位/光學掃描
產品描述：MLS-1730-2D所用定位臺為LS-1730，運動為21x21mm。
三維納米定位臺參數(shù)：
| 概觀 | |
|---|---|
| 軸數(shù) | 2 |
| 所用的定位臺 | LS-1730 |
| 運動行程[mm] | 21x21 |
| XY 最大負載[N] | 10 |
| 靠板安裝尺寸[mm] | 60x60x25 (L x W x H) |
| 直接安裝尺寸[mm] | 30x30x20 (L x W x H) |
| 選配 | |
| 材質 | 標配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
| 真空兼容 (1E-6 mbar) | -HV |
| 高真空兼容 (1E-11 mbar) | 可根據(jù)要求定制 |
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
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