測(cè)量過(guò)程中各種因素對(duì)于厚度的影響
材料磁性的影響
磁性表示材料對(duì)磁場(chǎng)的適應(yīng)程度。鐵或鎳等物質(zhì)具有高磁性。它們會(huì)被磁化并加強(qiáng)磁場(chǎng)。
由于金屬及其合金的磁性不同，儀器必須對(duì)不同的材料重新校準(zhǔn)。
曲面的影響
實(shí)際上，大多數(shù)測(cè)量誤差是由于樣品的形狀造成的。對(duì)于曲面，通過(guò)空間的磁場(chǎng)比例是不同的。例如，在平板上校準(zhǔn)儀器，在凹面上測(cè)量會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果偏低，而在凸面上測(cè)量會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果偏高。 這種方式造成的誤差可能是實(shí)際值的數(shù)倍！
Influence of the surface curvature on the layer thickness measurement with the magnetic induction process
小樣品或薄樣品的影響
如果樣品很小或很薄，也會(huì)產(chǎn)生類似的效果。 在這種情況下，磁場(chǎng)同樣會(huì)延伸到樣品之外的空間區(qū)域，從而影響測(cè)量結(jié)果。 為避免這些誤差，應(yīng)始終在無(wú)涂層的實(shí)際工件基材上進(jìn)行校準(zhǔn)。
粗糙度的影響
對(duì)于粗糙表面，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)失真，這取決于探針是放置在粗糙輪廓的“谷"還是“峰"上。這樣的測(cè)量結(jié)果差異會(huì)很大，建議通過(guò)多次重復(fù)測(cè)量取平均值來(lái)得到一個(gè)穩(wěn)定的結(jié)果。 一般來(lái)說(shuō)，只有當(dāng)涂層厚度至少是粗糙度峰值的兩倍以上時(shí)，在粗糙表面上測(cè)量涂層厚度才有意義。
Ayer Thickness Measurement With Magnetic Induction Process
為了獲得更好的精度，F(xiàn)ischer提供了大觸點(diǎn)的探頭以及雙觸點(diǎn)探頭。這些探頭能覆蓋粗糙表面，從而減少了測(cè)量值的離散性。
操作人員的影響
最后重要一點(diǎn)，儀器的操作方式也是一個(gè)主要的影響因素。確保探頭始終垂直接觸被測(cè)面，且不受外力。為了獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量值，還可以借助測(cè)量臺(tái)來(lái)使探頭自動(dòng)接觸樣品。
測(cè)量過(guò)程中各種因素對(duì)于厚度的影響
