菲希爾X射線XDL230主要技術(shù)指標(biāo)：（標(biāo)★為重要參數(shù)）
1、測量原理：X射線熒光光譜法測量鍍層厚度
2、測量方式：無損檢測，可自動聚焦
3、元素測量范圍: Cl（17）--U（92），多可測量24種元素23層鍍層。
★4、手動X/Y平臺,移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm
5、電動Z軸，手動/自動聚焦，可移動范圍≥140mm
★6、采用DCM（測量距離補(bǔ)償法）可遠(yuǎn)距離對焦測量腔體樣品，可達(dá)80mm深度
★7、滿足可變高壓30KV,40KV,50KV三種可調(diào)節(jié)，以滿足不同的測試需求。
★8、準(zhǔn)直器：φ0.3的圓形準(zhǔn)直器
9、X射線探測器：比例接收器
10、統(tǒng)計(jì)計(jì)算：數(shù)據(jù)組帶時間和時期功能，統(tǒng)計(jì)功能包含平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、大值、小值等；還可輸入公差范圍，計(jì)算CP和Cpk值，超范圍值時儀器應(yīng)有自動報(bào)警提示功能
11、windows7以上中文操作界面，WinFTM專業(yè)測試軟件，具備連接PC和打印機(jī)的USB借口
★12、測量誤差：鍍層厚度≥0.5um時，頂層鍍層測量精度≤5%
