驅(qū)動長度-X最大/最小

200mm/0.1mm

測量速度

0.1mm/s至13mm/s

驅(qū)動速度

最高可達(dá)13mm/s

X軸數(shù)據(jù)采樣間隔

長度為200mm時0.125μm

Z軸（垂直）性能

可使用高度

190mm

定位速度

0.25mm/s至10mm/s

傳感器

標(biāo)稱傳感器量程（Z）（驅(qū)動箱在0°狀態(tài)）

長測桿長度60mm

14mm

長測桿長度120mm

28mm

分辨率

0.8nm @ 14mm量程

測針桿部長度、針尖尺寸、測力

60mm測桿、2μm半徑錐球形鉆石針尖、1mN接觸力

系統(tǒng)性能

形狀誤差-Pt（球校準(zhǔn)半徑誤差）

最大100nm @ 22mm 通常小于60nm @ 22mm

半徑測量不確定性

0.1mm-80mm=1%-0.005%標(biāo)稱值

80mm-1000mm=0.005%-0.1%標(biāo)稱值

1000mm-2000mm=0.1%標(biāo)稱值

測量能力

最大工件直徑

300mm

最大工件髙度

190mm

最大工件重量

10Kg