目錄:南京芯測軟件技術有限公司>>探針臺系統(tǒng)>>GP探針臺系列>> GP200SiPH硅光探針臺
| 晶圓尺寸 | 200mm | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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型號:GP200-SiPH
8英寸硅光測試手動探針臺
硅光探針臺應用：GP200-SIP系列8英寸探針臺包含硅光芯片的DC&RF&OO測試所需的完整配置，在短時間內可準確地完成芯片的參數(shù)測試與提取。
| XY行程 | 快速定位行程：210mm×210mm； 精調行程： 210mm×210mm ， 精調分辨率：≤ 1.0 μm；驅動方式：手動 |
| Z軸行程 | 10mm；驅動方式：手動 |
| Theta旋轉 | 快速旋轉角度：360°；精調角度：±15°，精調分辨率：＜0.02°；驅動方式：手動 |
| Chuck臺 | 尺寸:203mm(8inch) ；真空盤可調節(jié)高度：±5mm 真空快速切換開關，真空調節(jié)檔位：Center、2’、4’、8’ 安裝方式：真空盤與主體絕緣 |
| 臺面精度 | 平面度：＜10 μm |
| 快速拉出結構 | 行程：100mm |
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