國產(chǎn)光學隔振平臺臺面采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構，上臺面為430系列高導磁不銹鋼，臺面按照25mmX25mm孔距均布M6螺紋孔，方便安裝儀器，每個螺紋孔下方具有獨立的隔離杯，方便清潔。中間是真蜂窩支撐結(jié)構，是把0.25毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結(jié)構，增加了臺面結(jié)構的密度，減小體積，采用*的粘合工藝，堅固耐用。臺面的底部和側(cè)板用鋼板作為主體材料，具有非常好的動態(tài)和靜態(tài)的剛性。
國產(chǎn)光學隔振平臺的特點：
1.具有非常好的隔振性能，特別是在低頻2Hz-10Hz達到90%以上的隔振效率。
2.采用慣性傳感器，可以檢測出六個自由度的振動，并做補償。
3.采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構臺面，厚度可選100/200/300mm。
4.進口精密主動隔振光學平臺。
5.隔振性能優(yōu)異，廣泛應用于掃描探針顯微鏡，原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀，半導體檢測設備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。
國產(chǎn)光學隔振平臺主動隔振支撐部分主要包括了被動隔振機構和主動隔振器DVIA-M，每個支撐里面一般會有4個DVIA-M系列主動隔振器和一臺主控箱。主動隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動的驅(qū)動器，主要消除0.5-10Hz的外部振動,被動隔振系統(tǒng)部分同時承擔著支撐負載和隔絕高頻率振動的作用?？梢栽诘皖l范圍（0.5-10Hz）提供非常好隔振性能，它可以應用于很多對振動要求非常高，甚至具有挑戰(zhàn)的領域，比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學研究和制備等。
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