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當(dāng)前位置：江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>遠程等離子源（RPS）>>AE XSTREAM Series
AE XSTREAM 遠程等離子體源 RPS 是采用集成主動匹配網(wǎng)絡(luò)用于大流量高壓反應(yīng)性氣體工藝的全集成等離子體源平臺。
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