KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN JFK系列射頻電源可以實現(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，可以在一定程度上提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。

KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：KYOSAN

設(shè)備型號：JFK125TP-TC2

AC 電源輸入：200~208V，3 phase~+G，60A，50/60Hz

RF 射頻輸出：3.2MHz，12.5KW（cw），20KW（PEAK）

通訊接口：Analog I/F，Debug，Device Net

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：水冷流量 8L/min

設(shè)備重量：45kg