DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-50B 40.68MHz 5000W RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的高性能射頻電源，射頻輸出精確高效，可靠性高。該款電源具有優(yōu)秀的成膜能力，成膜速度快，效率高，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中，固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。設(shè)備整體采用了緊湊設(shè)計，降低了客戶的使用成本。該系列電源設(shè)備經(jīng)過了嚴(yán)格的設(shè)計和可靠性測試，實現(xiàn)了高可靠性和耐久性，射頻輸出控制的精度高，整個輸出范圍內(nèi)輸出功率穩(wěn)定。

DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-50B 40.68MHz 參數(shù)規(guī)格

品牌：DAIHEN                                                                                                             

型號：FGA-50B                                                                                   

AC電源輸入：3 phase~ ，200~220V，50/60Hz，40A

RF射頻輸出：40.68MHz，5000W

通訊接口：Analog I/F，Serial，DMU

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MIN進(jìn)水流速 8L/min（2.11GPM），MAX進(jìn)水水壓 0.7MPa（101.5PSI），進(jìn)水水溫 10℃~35℃

設(shè)備重量：55kg