1. 環(huán)境準(zhǔn)備
- 設(shè)備自檢：開啟主控計(jì)算機(jī)與激光光源，運(yùn)行系統(tǒng)診斷程序，檢查光束偏振態(tài)、光強(qiáng)穩(wěn)定性(波動<5%)及XYθ運(yùn)動臺定位精度(重復(fù)性≤±1μm)。
2. 參數(shù)預(yù)設(shè)
- 加載圖形文件：將設(shè)計(jì)好的圖形(GDSII/DXF格式)導(dǎo)入控制軟件，設(shè)置曝光路徑規(guī)劃(蛇形/環(huán)形掃描)與劑量補(bǔ)償參數(shù)。
- 激光參數(shù)初始化：根據(jù)光刻膠特性選擇波長(如355nm/405nm紫外激光)，設(shè)定基礎(chǔ)功率(1-10mW)、脈沖寬度(10-100ns)及掃描速度(10-100μm/s)。
1. 基片清洗
- 超聲清洗：依次使用丙酮、異丙醇、去離子水各超聲10分鐘，氮?dú)獯蹈伞?/div>
- 氧等離子體處理：功率100W處理30秒，增強(qiáng)表面親水性。
2. 光刻膠涂覆
- 旋涂工藝：正膠(如AR-P 5350)以3000rpm旋涂60秒，膠厚通過轉(zhuǎn)速-粘度曲線控制(典型值50-200nm)。
- 前烘：90℃熱板烘烤60秒，揮發(fā)溶劑并提升粘附力。
三、曝光對準(zhǔn)與圖形寫入
1. 定位與調(diào)焦
- 標(biāo)記識別：使用紅外CCD攝像頭采集基片對準(zhǔn)標(biāo)記，機(jī)械對準(zhǔn)誤差<±1μm。
- 自動調(diào)焦：通過激光反射強(qiáng)度反饋調(diào)整物鏡位置，確保焦點(diǎn)位于光刻膠表面±50nm。
2. 曝光執(zhí)行
- 劑量測試：選取測試區(qū)域進(jìn)行階梯曝光(劑量梯度5-30mJ/cm²)，顯影后測定最佳曝光量。
- 動態(tài)調(diào)參：曝光過程中實(shí)時(shí)監(jiān)測光束能量波動，閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)激光功率，維持線寬一致性(3σ≤5%)。
四、顯影與后處理
1. 顯影控制
- 顯影液配制：AZ 726 MIF顯影液按1:4稀釋，溫度20±0.5℃。
- 顯影操作：噴淋顯影30秒，輔以10秒輕柔晃動，DI水沖洗后氮?dú)獯蹈伞?/div>
2. 圖形檢驗(yàn)
- 光學(xué)檢測：使用SEM/AFM測量線寬、側(cè)壁角度(典型87°±2°)及粗糙度(Ra<1nm)。
- 套刻誤差補(bǔ)償：基于檢測結(jié)果修正下一次曝光的位移偏移量。
五、系統(tǒng)維護(hù)與安全規(guī)范
1. 日常維護(hù)
- 光學(xué)系統(tǒng)清潔：每周用氮?dú)獯祾呶镧R組，每月更換濾光片。
- 運(yùn)動部件潤滑：線性導(dǎo)軌每百次使用涂抹精密潤滑油。
2. 安全操作
- 激光防護(hù)：曝光時(shí)關(guān)閉艙門，佩戴OD5+防護(hù)眼鏡。
- ?；饭芾恚猴@影液廢液分類收集，光刻膠存儲于防爆柜。
六、異常處理指南
- 焦點(diǎn)漂移：重啟自動調(diào)焦程序，檢查氣壓穩(wěn)定性。
- 圖形畸變：校準(zhǔn)運(yùn)動臺螺距誤差，更新熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)。
- 膠殘留：延長氧等離子體去膠時(shí)間至120秒。
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