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【小丸子熱銷】UPC系列UPC-4CW2-C150H

時間:2025-2-17閱讀:30
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【小丸子熱銷】我司近期推出熱銷產(chǎn)品UPC系列UPC-4CW2-C150H

應用
任何壓力都可以通過電信號設定。
當多個質(zhì)量流量連接到一條管線時,壓力會被調(diào)整,以使氣體流量的快速波動不會影響其他質(zhì)量流量。
可用作晶圓背面冷卻的控制器。
用于下游壓力控制。

特征



●工作原理:內(nèi)置壓力傳感器,保持壓力恒定。
●可通過電信號設定任意壓力。
●在質(zhì)量流量控制器的上游連接時,可以進行非常穩(wěn)定的流量控制。
●當多個質(zhì)量流量控制器連接到一條線路時,氣體流量的突然波動可能會影響其他質(zhì)量流量控制器。在這種情況下,使用 UPC 系列可以防止這種影響(下游壓力控制型)。
●UPCUS(上游壓力控制型)保持MO-CVD等液源的內(nèi)部壓力恒定,提高汽化量的穩(wěn)定性。
●可用作晶片背面冷卻的控制器。還提供帶流量監(jiān)控器的高溫型(150°C、250°C)。
●可用于從半導體、平板顯示器、太陽能電池板技術產(chǎn)業(yè)到一般產(chǎn)業(yè)的廣泛領域的壓力控制。
●兼容DeviseNet TM接口(請注明)。符合 RoHS 標準:本產(chǎn)品符合 RoHS 規(guī)定并且是環(huán)保的。

規(guī)格
模型UPC
(下游壓力控制器)
FCST1050(M)
ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓力范圍FS 13.3kPa abs.(100Torr)FS 150/300/500kPaFS 150/300/500kPa
控制壓力范圍1 到 100%1 至 100% *1
控制閥CV值-L型:0.0055 / M型:0.011 / H型:0.03
壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)
(自動調(diào)零后)
1~40%:±0.2%FS
40~100%:±0.5%SP
FS 150kPa abs. [1 至 40%:±0.2%FS,40 至 100%:±0.5%SP]
FS 300/500kPa abs. [1 至 20%:±0.1%FS,20 至 100%:±0.5% SP]
供氣壓力范圍0 至 200kPaG~897.3kPaG-
耐壓性200kPaG1MPaG
外部泄漏<1.0×10 -10 Pa?m3 /sec
使用溫度范圍0~50℃(系統(tǒng)保證溫度范圍:15~35℃)*2
電源電壓、電流消耗+15VDC:120mA,-15VDC:120mA
DeviceNet:+11 至 25VDC,4.0W
壓力設定/輸出信號0-10VDC/0-10VDC0-5VDC/0-5VDC
接液部分材料SUS316L,鎳鈷合金SUS316L,鎳鈷合金,F(xiàn)S9
連接配件/尺寸1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)


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