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Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)
  • Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)

貨物所在地:浙江杭州市

更新時(shí)間:2024-07-22 09:47:09

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Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)是結(jié)合了皮拉尼原理與電容薄膜原理的新型復(fù)合真空規(guī)。它測量精度高,而且在10mbar到1500mbar的測量范圍之間,不受被測氣體的影響。

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)


萊寶TTR101N真空變送器是結(jié)合了皮拉尼原理與電容薄膜原理的新型復(fù)合真空規(guī)。它測量精度高,而且在10mbar1500mbar的測量范圍之間,不受被測氣體的影響。


TTR101N 真空計(jì)含有兩個(gè)獨(dú)立的傳感器元件。其中,MEMS 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果,它包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面,芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面,由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流,因此傳感器對安裝位置并不敏感,通過擴(kuò)散,氣體分子只到達(dá)熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。另一個(gè)壓電傳感器則基于相對于集成式參考真空的硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)測量結(jié)果,可獨(dú)立于氣體成分和濃度來測量真實(shí)的絕對壓力。


這兩個(gè)傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。


在一些嚴(yán)苛條件下,灰塵和其他顆粒物可能會加大測量誤差,縮短使用壽命,建議選用過濾器。


技術(shù)參數(shù):

型號

THERMOVAC TTR 101N

貨號

230350V02

真空連接

DN16 ISO-KF

測量范圍

5×10-5 to 1500 Torr

電源電壓

9-30VDC

輸出電壓

0.61-10V log

電氣連接

8 pol. RJ45/FCC68

連接線

Type A

尺寸

見尺寸表

重量

0.17kg













Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)

典型應(yīng)用:


l 粗真空到高真空范圍的一般真空測量與控制

l 前級真空壓強(qiáng)測量

l 真空系統(tǒng)控制

l 進(jìn)樣室

l 高真空電力真空規(guī)控制


選配件


灰塵和其他顆粒物可能會加大測量誤差,縮短使用壽命。因此本公司建議嚴(yán)苛條件下應(yīng)選用過濾器。


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