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PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V75系列）

帶有L-Motion的V75大型傳輸插入閥是為具有高循環(huán)速率的Solar和FPD生產(chǎn)系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)的。基于V75系列的概念，它結合了極快的打開和關閉運動（在150毫米的打開高度下≤2秒）和對工藝相關沉積物的高阻力，這些沉積物會限制標準閥門的性能。V75配備了更大的壓力元件，可以承受閘門在開啟方向上的全壓差。因此，它特別適用于太陽能、OLED、PVD和負載鎖應用。

V75可用于OLED的“超清潔"配置，并可用于PVD和負載鎖定應用的高速選項。

V78使用的L-Motion技術基于模塊化平臺概念。它提供了一種無沖擊的打開和關閉動作。平穩(wěn)運行的雙作用L-Motion機構可確保整個密封表面上的密封壓力均勻，最大限度地減少密封磨損和潛在的顆粒釋放。這也在一定程度上降低了閥門壽命期間FFKM密封件的總成本。

V75系列可作為帶外殼的標準傳輸閥或作為插入式版本直接安裝在工藝室中。

與所有PRECESS傳輸閥解決方案一樣，V75大型傳輸插入閥是根據(jù)客戶的具體規(guī)格量身定制的。這些定制可能包括額外的過程控制單元、特殊的表面處理，如硬質陽極氧化鋁或鍍鎳鋁、其他密封材料、檢測閥體壓力的真空計、波紋管保護的軸饋通、閥門和閘門的射頻和直流接地選項、執(zhí)行器的橫向安裝位置等。

特征：

l半標準應用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l通過使用獲得認證的L形運動連桿和執(zhí)行器中沒有彈簧的雙換檔，顯著減少了振動，實現(xiàn)了更快的速度

l更平穩(wěn)的驅動

l閉合位置的機械鎖

優(yōu)點：

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落

l氣動執(zhí)行器雙作用

應用

l太陽能、FPD加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

lLCD/平板加工

l所有其他需要壓力控制器真空系統(tǒng)的應用

PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V75系列）

技術參數(shù)