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   從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。AxioImagerVario支持的最大樣品高度為254mm，最大橫向樣品空間為300mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設(shè)計確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達(dá)與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。

   潔凈室

   半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。根據(jù)DINENISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。AxioImagerVario已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。ISO5級潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FEDSTD209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩。

   半導(dǎo)體專用顯微鏡優(yōu)勢：

   1、具有兩種手動機柱和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300mmx300mm和最大樣品高度254mm的優(yōu)勢。

   2、AxioImagerVario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。

   3、半導(dǎo)體專用顯微鏡借助硬件自動對焦功能，可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品。

   4、將AxioImagerVario與LSM900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

   5、AxioImagerVario已通過DINENISO14644-1認(rèn)證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。