半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用的有害氣體主要包括砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、氨(NH3)、硫化氫(H2S)、氯氣(Cl2)等1。這些氣體在生產(chǎn)、灌裝、儲存、運(yùn)輸和使用過程中，若發(fā)生泄漏，會對空氣質(zhì)量產(chǎn)生以下影響：
污染大氣：有毒氣體的泄漏會直接污染大氣，導(dǎo)致空氣質(zhì)量下降。這些氣體可能在大氣中形成有害的化合物，影響人類和其他生物的呼吸健康。
影響環(huán)境和人體健康：長期接觸或吸入這些有毒氣體，會對人體的呼吸系統(tǒng)、神經(jīng)系統(tǒng)、消化系統(tǒng)等多個(gè)系統(tǒng)造成損害。例如，砷烷和磷烷等氣體可導(dǎo)致神經(jīng)中毒，氨和硫化氫等氣體則可能引發(fā)呼吸道疾病。
綜上所述，半導(dǎo)體生產(chǎn)中的有害氣體如果發(fā)生泄漏，會對空氣質(zhì)量造成嚴(yán)重污染，并對環(huán)境和人體健康產(chǎn)生負(fù)面影響。因此，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，必須嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程，采取有效的防護(hù)措施，以防止有害氣體泄漏，保護(hù)環(huán)境和公眾健康
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